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作品名称：纳探先机 —— 微观检测加工利器
学校名称：山东理工大学
参赛队伍：对队
队伍编号：227794
参赛学生：史晓奕
指导老师：崔建强
投票日期：2025年10月10日 00:00->2025年12月15日 00:00
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详细说明

纳米技术在微纳制造领域备受关注，而纳米加工与检测技术是微纳机电系统落地的关键。当前国内纳米工具制备技术落后，主要依赖进口且价格高昂，市场缺口大，本产品实现了完全自主设计生产并已通过南京航天晨光集团有限责任公司航天理化分析与无损检测研究所的检测，填补了国内纳米技术领域的空缺。

核心产品为纳米检测探针（CNT - T）和纳米加工探针（CNT - E），以高导电、耐腐蚀的钨针为基体，经电化学刻蚀制成三阶柱状结构，尖端采用 CVD 法制备的有序多壁碳纳米管，直径 10 - 100nm，长度 10 - 40μm，尺寸精度≤20nm，直线度≤10nm。

纳米检测探针可作为 AFM/STM 显微镜扫描探针评估微纳米器件加工质量，也可作为生物研究探测探针检测细胞结构；纳米加工探针可用于刻蚀微孔、微缝等微细结构，适配航空航天微型器件、生物医学血管支架等生产场景。